氧等离子体处理时，指示剂的变色。图片来自樱花彩笔公司 （点击放大）

变色色差图。图片来自樱花彩笔公司 （点击放大）

日本樱花彩笔公司将推出可使等离子体处理效果可视化的评估工具“PLAZMARK”的新产品“晶圆型（陶瓷型）”。这是第一款用于晶圆工艺的产品，可用于评估电子元器件的蚀刻及灰化等面内分布等。

PLAZMARK采用会因等离子体而变色的色材。利用随着等离子体的处理强度而变色的特性，通过颜色来表示等离子体的状态。该公司此前已推出了“薄片型”、“标签型”等产品，但薄片型的基材是长方形薄片，因此不适合晶圆工艺。通过推出跟用户使用的晶圆尺寸相同、形状相同的指示剂，便可通过跟平常一样的处理操作，轻松评估等离子体处理效果的面内分布。

此次新开发出了不使用有机物的色材，在硅基板或蓝宝石基板的表面形成无机色材。有4英寸和6英寸两种尺寸，形成了陶瓷膜，因此具有400℃的耐热性。另外，等离子体处理时的变色可实现数值化，用来评估面内分布。

该产品已于2017年1月开始供应样品，将于2017年4月开始量产。另外，樱花彩笔公司将在12月14日～16日于东京有明国际会展中心举行的“SEMICON Japan 2016”上，展示并演示包括此次的晶圆型在内的PLAZMARK产品。（来源：日经BP社）

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