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氮化物发光器件及其制造方法

三星电机株式会社的鲁载哲、曹相德和蔡昇完等,于2004年5月在中国专利局申请了该专利,并于2005年7月公开发表。

        这里公开了一种氮化物半导体发光器件及其制造方法。氮化物半导体发光器件包括用于生长氮化镓基半导体材料的衬底;形成在衬底上的n型氮化物半导体层;有源层,形成在n型氮化物半导体层上,以使n型氮化物半导体层的预定部分露出;形成在有源层上的p型氮化物半导体层;形成在p型氮化物半导体层上的透明电极层,由此提供了与p型氮化物半导体层的欧姆接触;透明电极层上为Ta/Au的双层形式的p侧键合焊盘;以及n型氮化物半导体层的露出部分上为Ta/Au的双层形式的n侧电极。

来源:新材料科技网

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